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Arbeit "Simulation ionenstrahlunterstützter Prozesse", Online seit: 23.10.2008

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		Institut für Festkörperelektronik

Simulation ionenstrahlunterstützter Prozesse

Angesprochene Studienrichtungen

Doktoratsstudium in Elektrotechnik (Dr. techn.; PhD)
Doktoratsstudium in Technische Mathematik (Dr. techn.; PhD)
Doktoratsstudium in Technische Physik (Dr. techn.; PhD)

Beschreibung

Im Rahmen eines Projektes der Österreichischen Nanoinitiative (www.nilaustria.at) wird die Herstellung von Stempeln für die Nanoimprintlithographie (www.tuwien.ac.at/aktuelles/news_detail/article/5039/) mittels direktschreibender Ionenstrahlen untersucht. Ein Projektpartner, die Wiener Firma IMS Nanofabrication AG (www.ims.co.at), entwickelt derzeit ein Gerät, das mit Hilfe tausender paralleler, fokussierter Ionenstrahlen Nanostrukturen aus einem Material herausfräst. Das Verfahren basiert auf physikalischem Sputtern bzw. in Zukunft auf ionenstrahlunterstütztem Ätzen.

Ziel eines Teilprojektes ist die Entwicklung von Software zur Vorhersage der Topographie bzw. von Materialveränderungen zufolge des Herstellungsprozesses. Dabei kann auf bestehendes Know-How und die parallel laufenden experimentellen Arbeiten in der Firma IMS bzw. am Institut für Festkörperelektronik aufgebaut werden. Aufgabe des Kandidaten ist die Softwareentwicklung mit Hilfe moderner
Programmiertechniken (objektorientierte Programmierung). Je nach Interesse kann eine Schwerpunktbildung in Richtung Numerik oder physikalischer Modellierung erfolgen.

Die Bezahlung erfolgt analog einer Doktorandenstelle des FWF.
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As part of a project of the Austrian Nanoinitiative (www.nilaustria.at) the fabrication of stamps for nanoimprint lithography (www.tuwien.ac.at/aktuelles/news_detail/article/5039/) with direct write ion beams is investigated. A project partner, the Viennese company IMS Nanofabrication AG (www.ims.co.at), currently develops a tool that mills nanostructures by thousands of parallel focused ion beams. The process is based on physical sputtering or, in the future, on ion beam assisted etching.

Software development for the prediction of topography and material modifications is one of the workpackages. The work will benefit from existing know-how as well as from experimental work that is carried out within the same project at IMS and Institut für Festkörperelektronik. The main task for the candidate is to develop the software using modern software engineering techniques (object oriented programming). Depending on interest, the candidate may focus on numerical problems or physical models.

Payment is analogous to a PhD position of the Austrian Science Fund.

Sprachen

deutsch, englisch

Hauptbetreuung

Ao.Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.techn. Gerhard Hobler

+43 1 58801-36233

gerhard.hobler+e362@tuwien.ac.at

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Typ der Arbeit

Institut

Studienrichtung

Studium

Schlagwort